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摘要：本发明涉及一种ALD流化床包覆反应器和包覆粉末的方法，特点是一种能够实现快速更换反应釜的ALD流化设备。所述设备包括一个加热室、可更换的反应釜。每个反应釜包含至少一个用于沉积过程的流化床区，并且设计为通过标准化接口与加热室快速连接或分离。这种设计使得用户可以在同一设备状态下添加不同量的流化粉末，更换不同的反应釜模块，从而显著提高生产效率和灵活性。
主权项：1.一种ALD流化床包覆反应器，其特征在于，包括：加热室，加热室底部设有连接输气管道的法兰盘III，加热室上部设有连通抽气管道的过滤器；多种反应釜，均可拆卸的安装在法兰盘III和过滤器之间，每种反应釜的总长度相同，反应釜包括密封法兰I、密封法兰II，及从自下位于密封法兰I和密封法兰II之间的脱离接触区、扩张区、流化区：流化区，为柱状容器，沿柱状容器高度方向，柱状容器在不同高度处的横截面相同，流化区内填装有待包覆的颗粒Q；扩张区，为倒锥形容器，位于所述流化区上方，用于提供更大的空间以容纳流化颗粒的包覆；脱离接触区，为柱状容器，沿柱状容器高度方向，柱状容器在不同高度处的横截面相同，脱离接触区位于扩张区上方，用于使包覆包覆层后达到预期尺寸的颗粒B沉降回流化区；脱离接触区的直径D3不小于Fv为流化气体在ALD操作温度和压力下的设计体积流量，dB和ρB分别为颗粒B的预期直径和颗粒B达到预期直径时的密度，ρ和μ分别为输气管道输出的含反应前驱体的流化气体在ALD操作温度和压力下的密度和黏度，流化区的直径D4小于D’，颗粒Q的密度为ρQ，颗粒Q包覆前的直径为dQ，ε＝0.33～0.5，流化区的高度h1与扩张区的高度h2的和被设置的不小于流化区的高度h1被设置的小于且流化区和扩张区的体积之和按流化区内填装的颗粒Q的堆体积的1ε倍设计，A＝0.25×π×D42，m为颗粒Q在流化区装填的质量，脱离接触区的长度为法兰盘III和过滤器之间距离减去流化区的高度h1与扩张区的高度h2的和；加热室内法兰盘III和过滤器之间距离大于所有反应釜的流化区的高度h1与扩张区的高度h2的和。
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