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摘要：本申请实施例提供一种无源器件的制造方法及无源器件，其中，制造方法包括：在玻璃衬底的一侧表面之上依次形成第一金属层、电介质层、第二金属层及器件绝缘介质层，器件绝缘介质层包覆第一金属层、电介质层和第二金属层；第二金属层通过电介质层与第一金属层隔开；在器件绝缘介质层之上形成电信号引出层，电信号引出层与第二金属层电连接；在玻璃衬底背离第一金属层的一侧开设沿玻璃衬底厚度方向贯通的导电柱，导电柱与第一金属层电接触。本申请实施例提供的无源器件的制造方法及无源器件利用玻璃衬底制作而成，具有更低的损耗，能实现高Q值的电容器件，且性能更优，成本更低。
主权项：1.一种无源器件的制造方法，其特征在于，包括：在玻璃衬底的一侧表面之上依次形成第一金属层、电介质层、第二金属层及器件绝缘介质层，器件绝缘介质层包覆第一金属层、电介质层和第二金属层；第二金属层通过电介质层与第一金属层隔开；在器件绝缘介质层之上形成电信号引出层，电信号引出层与第二金属层电连接；在玻璃衬底背离第一金属层的一侧开设沿玻璃衬底厚度方向贯通的导电柱，导电柱与第一金属层电接触；在玻璃衬底背离第一金属层的一侧开设沿玻璃衬底厚度方向贯通的导电柱，包括：在玻璃衬底背离第一金属层的一侧开设导电孔，导电孔沿玻璃衬底厚度方向贯通；沿朝向第一金属层的方向，导电孔的孔径逐渐减小；在导电孔内形成导电柱。
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百度查询： 苏州华太电子技术股份有限公司 无源器件的制造方法及无源器件
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