龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
摘要：本发明提供一种硅锗硅叠层中硅的高性能选择性蚀刻液，该蚀刻液包括氢氧化季铵、链烷醇胺、SiGe抑制剂和水。本发明提供的高性能、高选择比的蚀刻组合物，能够在高效维持蚀刻硅的同时，对硅锗有防蚀效果，硅硅锗选择比＞20；当呋喃环类化合物与多胺类化合物按一定比例联用时，硅硅锗选择比高达345。
主权项：1.一种硅锗硅叠层中硅的高性能选择性蚀刻液，其特征在于，包含氢氧化季铵、链烷醇胺、SiGe抑制剂和水。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 湖北兴福电子材料股份有限公司 硅锗/硅叠层中硅的高性能选择性蚀刻液
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号