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摘要：本发明公开了一种自支撑柔性M型六角铁氧体薄膜的制备方法。该方法选用MgO单晶衬底，使用脉冲激光沉积系统PLD制备MMgO薄膜，再通过湿法刻蚀制备所述自支撑柔性M型六角铁氧体薄膜。其制备方法主要包括以下步骤：S1、制备M型六角铁氧体靶材；S2、脉冲激光沉积，原位退火制得MMgO薄膜；S3、对所述薄膜二次退火；S4、将二次退火后的薄膜转移，得到所述自支撑柔性M型六角铁氧体薄膜。本发明相比于传统的湿法刻蚀牺牲层法，利用MgO单晶衬底的溶解特性，减少衬底与薄膜之间的牺牲层，简化制备工艺，使得制备过程简单，制备周期较短，薄膜可依托于柔性衬底，大幅度拓展了其应用范围。
主权项：1.一种自支撑柔性M型六角铁氧体薄膜的制备方法，其特征在于，所述自支撑柔性M型六角铁氧体薄膜的制备方法包括如下步骤：S1、制备用于脉冲激光沉积的M型六角铁氧体靶材；S2、将单晶衬底、所述M型六角铁氧体靶材置于样品腔内，在单晶衬底上沉积M型六角铁氧体薄膜，原位退火、降温，制得MMgO薄膜；S3、对所述MMgO薄膜二次退火、结晶；S4、将步骤S3退火后的薄膜浸泡于NH42SO4溶液中，将脱落的薄膜层转移，得到所述自支撑柔性M型六角铁氧体薄膜；其中，步骤S2所述单晶衬底为MgO。
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百度查询： 桂林电子科技大学 一种自支撑柔性M型六角铁氧体薄膜的制备方法
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