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摘要：一种目标材料生成器包括：储槽系统和喷嘴供应系统之间的流体流动路径，以及在流体流动路径中的耦合组件。目标材料生成器是极紫外光源的一部分。耦合组件包括第一装配件，该第一装配件耦合到第二装配件，从而沿着流体流动路径形成流动导管，其中密封部形成在第一装配件和第二装配件之间；以及套筒，该套筒沿着流动导管的内壁设置并且设置在密封部和流动导管之间，使得污染物陷阱形成在套筒和密封部之间。
主权项：1.一种高压耦合组件，包括：第一装配件，耦合到第二装配件并且在其间形成熔融锡流动导管；聚酰亚胺密封构件，设置在所述第一装配件和所述第二装配件之间；以及钽套筒，沿着所述流动导管的内壁设置并且设置在所述聚酰亚胺密封构件和所述流动导管之间；其中所述钽套筒通过压配或螺接耦合到所述第一装配件和所述第二装配件中的一者或多者。
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百度查询： ASML荷兰有限公司 高压耦合组件
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