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摘要：本发明公开了一种气体混合装置及半导体加工设备，气体混合装置包括：混合仓体，一端设有用于接收多种气体的输入端，另一端设有用于输出经混合的多种气体的输出端；混气件，设置于混合仓体内，且一侧与输入端间隔有第一缓冲区；匀气件，设置于混合仓体内，且一侧与混气件的另一侧间隔有第二缓冲区，另一侧与输出端间隔有储存区；其中，第一缓冲区的空间形状沿气体流向呈锥形发散设置，储存区的空间形状沿气体流向呈锥形聚拢设置。本发明将第一缓冲区和储存区的空间形状设计成锥形，可防止气体流动过程中形成涡流和死区，也能起到防止气体反流效果。多种气体经过混气件进行混合后再经过匀气件进行匀气，可使得混合后的混合气体更加均匀。
主权项：1.一种气体混合装置，其特征在于，包括：混合仓体，一端设有用于接收多种气体的输入端，另一端设有用于输出经混合的多种气体的输出端；混气件，设置于所述混合仓体内，且一侧与所述输入端间隔有第一缓冲区；匀气件，设置于所述混合仓体内，且一侧与所述混气件的另一侧间隔有第二缓冲区，另一侧与所述输出端间隔有储存区；其中，所述第一缓冲区的空间形状沿气体流向呈锥形发散设置，所述储存区的空间形状沿气体流向呈锥形聚拢设置。
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百度查询： 拓荆创益(沈阳)半导体设备有限公司 一种气体混合装置及半导体加工设备
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