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摘要：本发明公开了一种晶圆沉积覆盖环，包括环体，环体内壁开设有圆槽；环体底壁上设置有内环，内环为与环体同一圆心的环形结构，内环的截面为L形。显著提高了散热速度，防止了过高的温度积累，保持工艺过程中的稳定温度，并且避免了由于温度过高导致的晶须和黑点问题，从而提高了产品的良率。通过在环体底壁的两面不同的槽设计，能够让环体在实施过程中更快地散热，冷却时间减少，能够进一步减少温度波动带来的工艺不稳定性，提高了工艺的稳定性和可靠性。
主权项：1.一种晶圆沉积覆盖环，其特征在于，包括环体1，环体1内壁开设有圆槽2；环体1底壁上设置有内环3，内环3为与环体1同一圆心的环形结构，内环3的截面为L形。
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百度查询： 上海陆派实业有限公司 一种晶圆沉积覆盖环
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