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摘要：基于电容的探针接触检测。描述了用于检测探针在表面上的接触的技术。一种用于检测探针尖端在表面上的纳米级接触的计算机实现的方法包括将探针尖端定位在相对于样品表面的第一位移处，该样品表面暴露一个或多个纳米结构。该方法可以包括使探针尖端朝向样品表面位移。该方法可以包括至少部分地基于探针尖端的一个或多个电特性来生成探针尖端的响应数据。该方法还可以包括使用响应数据来检测样品表面与探针尖端之间的接触。
主权项：1.一种用于检测探针尖端在表面上的纳米级接触的计算机实现的方法，所述方法包括：将探针尖端定位在相对于样品表面的第一位移处，所述样品表面暴露一个或多个纳米结构；使所述探针尖端朝向所述样品表面位移；至少部分地基于所述探针尖端的一个或多个电特性来生成所述探针尖端的响应数据；以及使用所述响应数据来检测所述样品表面与所述探针尖端之间的接触。
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百度查询： FEI公司 基于电容的探针接触检测
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