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摘要：本申请实施例提供一种用于减小散焦距离defocus的静电透镜、具有该静电透镜的多分束带电粒子系统，涉及电子光学技术领域。该静电透镜包括可通过第一带电粒子束的第一透镜和可通过第二带电粒子束的第二透镜，第一透镜和第二透镜均包括相堆叠的且绝缘的第一电极层和第二电极层，另外，第一透镜的第一电极层相对第二透镜的第一电极层朝该静电透镜的外部凸出，这样，若该静电透镜被应用在多分束带电粒子系统中，例如，被应用在电子束曝光机中，通过设置的凸出结构，可以减小第一带电粒子束和第二带电粒子束的散焦距离defocus，进而可以将多分束带电粒子系统的聚焦面为平面，以提高该电子束曝光机的刻绘效率。
主权项：一种静电透镜，其特征在于，包括：第一电极层；第二电极层，所述第一电极层和所述第二电极层堆叠，并且所述第一电极层和所述第二电极层之间绝缘；所述第一电极层包括：第一电极层第一部分和第一电极层第二部分；所述第二电极层包括：第二电极层第一部分和第二电极层第二部分；所述第一电极层第一部分和所述第二电极层第一部分沿所述堆叠方向排布，所述第一电极层第二部分和所述第二电极层第二部分沿所述堆叠方向排布；所述第一电极层第一部分相对所述第一电极层第二部分朝远离所述第二电极层的方向凸出；所述第一电极层第一部分内开设有沿所述堆叠方向贯通所述第一电极层的第一孔，所述第一电极层第二部分内开设有沿所述堆叠方向贯通所述第一电极层的第二孔；所述第二电极层第一部分内开设有与所述第一孔相连通的第三孔，所述第二电极层第二部分内开设有与所述第二孔相连通的第四孔。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 华为技术有限公司 用于减小散焦距离defocus的静电透镜
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