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摘要：本公开提供了一种光纤端面集成光学器件的集成方法，包括：利用光敏聚合物将光纤样品固定在透明基底上，获得初始样品组件；利用光刻加工组件对初始样品组件进行光刻加工，以在光敏聚合物与光纤样品的界面处开始生长支撑结构，获得第一样品组件；利用激光直写组件对第一样品组件进行激光直写，以在第一样品组件的基础上生长光学器件，获得第二样品组件；以及将第二样品组件浸入显影溶液中，以去除第二样品组件中的未曝光部分的光敏聚合物，获得光学器件。
主权项：1.一种光纤端面集成光学器件的集成方法，包括：利用光敏聚合物将光纤样品固定在透明基底上，获得初始样品组件；利用光刻加工组件对所述初始样品组件进行光刻加工，以在所述光敏聚合物与所述光纤样品的界面处开始生长支撑结构，获得第一样品组件；利用激光直写组件对所述第一样品组件进行激光直写，以在所述第一样品组件的基础上生长所述光学器件，获得第二样品组件；以及将所述第二样品组件浸入显影溶液中，以去除所述第二样品组件中的未曝光部分的所述光敏聚合物，获得所述光学器件。
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百度查询： 中国科学技术大学 光纤端面集成光学器件的集成方法
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