龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
摘要：一种力测量和触摸感测集成电路器件包括：半导体基板、覆盖在半导体基板上的薄膜压电叠层、压电微机械测力元件PMFE和压电微机械超声换能器PMUT。薄膜压电叠层包括压电层。PMFE和PMUT沿薄膜压电叠层位于相应的横向位置处，使得PMFE和PMUT中的每一个包括薄膜压电叠层的相应部分。每个PMFE具有：1薄膜压电叠层的相应部分；2在薄膜压电叠层的一侧上的第一PMFE电极；以及3在薄膜压电叠层的另一侧上的第二PMFE电极。每个PMFE被配置为根据由低频机械变形导致的压电层的相应部分处的时变应变，输出PMFE电极之间的电压信号。
主权项：1.一种集成电路器件，包括：半导体基板；所述半导体基板上的布线；薄膜压电叠层，覆于所述半导体基板上并且包括压电层；以及压电微机械测力元件PMFE；其中：所述PMFE位于沿所述薄膜压电叠层的相应的横向位置处，每个PMFE包括所述薄膜压电叠层的相应部分；每个PMFE包括：1第一PMFE电极；2第二PMFE电极；以及3所述薄膜压电叠层的相应部分，所述第一PMFE电极和所述第二PMFE电极位于所述压电层的相对侧以构成压电电容器，所述PMFE耦接到所述布线；每个PMFE被配置为根据由低频机械变形导致的在相应的第一PMFE电极和相应的第二PMFE电极之间的压电层的相应部分处的时变应变，输出在相应的第一PMFE电极和相应的第二PMFE电极之间的电压信号；所述PMFE被分为PMFE组，包括第一PMFE组、第二PMFE组、第三PMFE组和第四PMFE组，每个PMFE组包括所述PMFE中的至少一个；所述PMFE组以沿着x方向和与x方向垂直的y方向延伸的二维阵列布置，所述二维阵列具有无所述PMFE的区域；所述第二PMFE组沿y方向从所述第一PMFE组移位；所述第四PMFE组沿y方向从所述第三PMFE组移位；所述第三PMFE组和所述第四PMFE组沿x方向从所述第一PMFE组和所述第二PMFE组移位；所述区域将所述第一PMFE组与所述第四PMFE组分隔开；所述区域将所述第二PMFE组与所述第三PMFE组分隔开；以及所述布线从所述半导体基板延伸到所述PMFE组。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 奥矽半导体技术有限公司 力测量和触摸感测集成电路器件
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号