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申请/专利权人：苏州恩正科电子有限公司
摘要：本实用新型涉及一种单片式半导体基材清洗机，旨在解决当前夹持装置在对晶圆进行夹持时不便于对多种尺寸的晶圆进行无极适配的技术问题，包括底部可旋转设置有驱动组件的承载组件，承载组件包括外缘面上呈环形阵列构造设置有矩形导轨板的承载台，且承载组件的顶部活动设置有夹持组件，矩形导轨板内部开设有导轨槽，驱动组件包括中部开孔且外缘面上居中开设槽体的安装座，安装座的槽体内部呈环形阵列设置有可旋转展开以及收折的联动机构，夹持组件包括呈环形阵列活动设置于导轨槽内且可拆卸连接于联动机构的夹持部件，夹持部件包括顶部构造有凸块的滑块二，本实用新型具有对多种晶圆尺寸的无极适配夹持的优点。
主权项：1.一种单片式半导体基材清洗机，其特征在于，包括底部可旋转设置有驱动组件3的承载组件1；所述承载组件1包括外缘面上呈环形阵列构造设置有矩形导轨板102的承载台101，且承载组件1的顶部活动设置有夹持组件4，所述矩形导轨板102内部开设有导轨槽103；所述驱动组件3包括中部开孔且外缘面上居中开设槽体的安装座301，所述安装座301的槽体内部呈环形阵列设置有可旋转展开以及收折的联动机构；所述夹持组件4包括呈环形阵列活动设置于导轨槽103内且可拆卸连接于联动机构的夹持部件；所述夹持部件包括顶部构造有凸块404的滑块二402，所述凸块404的一侧对称构造有U形板405，所述U形板405间可旋转设置有弧形夹臂408，所述弧形夹臂408朝向U形板405的一端内部构造有凸轴，且弧形夹臂408远离U形板405的一端构造有定位夹头409，凸轴可旋转连接于U形板405，且凸轴于U形板405的连接端设置有扭簧。
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权利要求：
百度查询： 苏州恩正科电子有限公司 一种单片式半导体基材清洗机
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