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申请/专利权人：锡凡科技(滁州)有限公司
摘要：一种标定装置，包括标定组件，其包括：基底；感光结构，其涂覆在基底表面，感光结构包括周期性设置的感光变色材料结构和光稳定剂结构；其中，感光结构的一个周期包括一个感光变色材料结构和一个光稳定剂结构；基底表面光滑平整，基底为矩形或者椭圆形；基底由玻璃或金属制成；感光结构涂覆在基底的上表面或者下表面，光稳定剂结构占感光结构的5％左右，感光变色材料结构占感光结构的95％左右。本实用新型周期性设置能够保证感光性能的均匀性，减小视觉系统采集误差，周期宽度足够小，可以保证感光图形的精细度；周期性设置的光稳定剂可以延长感光变色材料结构的使用寿命。
主权项：1.一种标定装置，应用于光刻机中，其特征在于，包括：标定组件6，其包括：基底601；感光结构602，其涂覆在基底601表面，感光结构602包括周期性设置的感光变色材料结构6021和光稳定剂结构6022；其中，感光结构602的一个周期包括一个感光变色材料结构6021和一个光稳定剂结构6022。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 锡凡科技(滁州)有限公司 一种标定装置
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