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摘要：本发明提供了一种以MTS为原料化学气相沉积制备碳化硅晶须的方法，以碳化硅纤维为基体，化学气相沉积得到。本发明控制原料甲基三氯硅烷MTS的纯度，以及化学气相沉积的混合气体流量比、温度等，与一般的CVD法相比，工艺更加简单，流程便于控制，最终获得的碳化硅晶须纯度高。本发明获得的碳化硅晶须可以应用于陶瓷基或金属基复合材料的增强增韧，应用前景好。
主权项：1.一种以MTS为原料化学气相沉积制备碳化硅晶须的方法，其特征在于，以碳化硅纤维为基体，化学气相沉积得到碳化硅晶须；其中，化学气相沉积通入氩气、氢气和甲基三氯硅烷MTS的混合气体，三者流量分别为3～6Lmin、6～12Lmin、1～2Lmin；化学气相沉积的温度控制如下：A利用1.5～2小时由室温匀速升温至600℃，保温1～2小时；B利用2～3小时继续升温至950～1200℃，保温2小时；C950～1200℃沉积2～4小时；化学气相沉积过程中控制压力为2000～3000Pa。
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百度查询： 湖南元墨科技有限公司 一种以MTS为原料化学气相沉积制备碳化硅晶须的方法
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