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一种硅片移栽设备 

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摘要:本发明创造提供了一种硅片移栽设备,包括机架、机械手、笼型夹爪,笼型夹爪包括固定板、通过第一驱动组件安装在固定板上的第一夹爪、通过第二驱动组件安装在固定板上的第二夹爪;第一驱动组件安装在固定板上方,两组第一夹爪通过第一驱动组件驱动向相反方向运动;两组第二夹爪通过第二驱动组件驱动向相反方向运动,两组第一夹爪与两组第二夹爪的运行方向相交实现四周夹紧。本发明创造所述的一种硅片移栽设备,移栽机械手伸入到料框内,进行捞取动作;移栽机械手的夹爪为笼型,两组第一夹爪、两组第二夹爪配合夹取防止硅片进行倾斜,两组第一夹爪下侧托板托住硅片底部,此结构在运输硅片中对夹取的硅片起到了稳定性效果,对硅片起到了更好的保护。

主权项:1.一种硅片移栽设备,包括机架1、安装在机架1上的机械手2、以及安装在机械手2上的笼型夹爪3,其特征在于:所述笼型夹爪3包括固定板31、通过第一驱动组件安装在固定板31上的第一夹爪6、通过第二驱动组件安装在固定板31上的第二夹爪7;所述第一驱动组件安装在固定板31上方,所述第一夹爪6设有两组,两组第一夹爪6贯穿固定板31后与第一驱动组件连接,两组第一夹爪6通过第一驱动组件驱动向相反方向运动;所述第二驱动组件安装在固定板31下方,所述第二夹爪7设有两组,两组第二夹爪7与第二驱动组件连接,两组第二夹爪7通过第二驱动组件驱动向相反方向运动,两组第一夹爪6与两组第二夹爪7的运行方向相交;所述固定板31两侧对称设有两个齿轮安装座313,所述第一驱动组件包括第一齿轮41、第二齿轮42、第一传送带、第一电机4,第一齿轮41、第二齿轮42对称安装在两个齿轮安装座313上,第一齿轮41与第二齿轮42之间通过第一传送带连接,所述第一电机4安装在第一齿轮41上方,第一电机4转轴与第一齿轮41转动连接;其中一个第一夹爪6贯穿固定板31后与第一齿轮41、第二齿轮42一侧的传送带连接,另一个第一夹爪6贯穿固定板31后与第一齿轮41、第二齿轮42另一侧的传送带连接;所述第二驱动组件包括第三齿轮51、第四齿轮52、第二传送带53、第二电机5,第三齿轮51、第四齿轮52对称安装在固定板31底部,所述固定板31设有凸台,凸台上设有矩形槽,第二传动带两端贯穿矩形槽与第三齿轮51、第四齿轮52进行连接,第三齿轮51与第四齿轮52之间通过第二传送带53连接,所述第二电机5转轴贯穿固定板31后与第三齿轮51进行连接;固定板31侧壁上开有两个通槽,两个通槽内安装有两个第二滑轨312,固定板31底部设有移动槽与通槽相通,两组第二夹爪7顶部分别设有第二安装板,其中一个第二安装板上对称设有两个第二滑块71,两个第二滑块71分别贯穿移动槽后与两个第二滑轨312连接,另一个第二安装板上对称设有两个第三滑块72,两个第三滑块72分别与两个第二滑轨312连接,两个第二安装板相对安装。

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