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申请/专利权人：天津工业大学
摘要：本发明属于光学薄膜技术领域，公开了一种疏水减反射新型微纳米结构CaF2薄膜及其制备方法，其特征在于，薄膜表面为凹凸不平的微纳米结构，该结构在2000倍下表现为大小不均匀的凹陷坑，在70000倍下呈现为尺寸不一的纳米颗粒；该薄膜以磁控溅射法制备，以CaF2为靶材，以SF6作为反应气体掺入到工作气体Ar2中，SF6电离出的F‑离子既与石英玻璃SiO2反应，在玻璃表面刻蚀出凹凸微纳米结构，又抑制CaF2薄膜的F贫乏；调整工作压力、溅射功率等，可以调整微纳米结构的尺寸等。CaF2膜可以提高玻璃在300‑1100nm波长范围内的平均透过率2‑5个百分点，薄膜表面水接触角达到139.4°，接近于超疏水表面。采用本技术方案制得CaF2减反射膜可应用于室外光学器件上，制备工艺过程简单、可控。
主权项：1.一种疏水减反射微纳米结构CaF2薄膜，其特征在于，薄膜表面呈现为凹凸不平的微纳米结构，该结构在2000倍下表现为大小不均匀的凹陷坑，在70000倍下呈现为尺寸不一的纳米颗粒；该薄膜以磁控溅射法制备，以CaF2为靶材，以SF6作为反应气体掺入到工作气体Ar2中，SF6电离出的F-离子既与石英玻璃SiO2反应，在玻璃表面刻蚀出凹凸微纳米结构，又抑制CaF2薄膜的F贫乏；调整溅射工艺参数工作压力、溅射功率，可以调整凹陷坑的大小、纳米颗粒的尺寸以及纳米孔隙的大小、孔隙率。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 天津工业大学 一种疏水减反射新型微纳米结构CaF2薄膜及其制备方法
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