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申请/专利权人：中国科学院苏州生物医学工程技术研究所
摘要：本发明公开了一种小型简易光学间距非接触低相干测量装置，其特征在于，包括箱体、计算机、测量臂以及设置在所述箱体内部的光纤干涉探测盒、扫频光源、指示光源和参考臂；所述光纤干涉探测盒内设置有光纤耦合器、环形器、波分复用器和平衡探测器；所述参考臂包括第一准直器、反射镜以及用于安装所述反射镜且可对所述反射镜的位置进行调节的反射镜安装座，所述测量臂包括第二准直器和待测样品；本发明可用于小型光学表面间距非接触测量，具有结构简单紧凑、易于调整组装、便于移动、测量无损伤等优点；本发明通过反射镜安装座，能实现反射镜的位置的方便调节，以保证从反射镜返回的光线能再次进入第一准直器，方便装置的光路调节。
主权项：1.一种小型简易光学间距非接触低相干测量装置，其特征在于，包括箱体、计算机、测量臂以及设置在所述箱体内部的光纤干涉探测盒、扫频光源、指示光源和参考臂；所述光纤干涉探测盒内设置有光纤耦合器、环形器、波分复用器和平衡探测器；所述参考臂包括第一准直器、反射镜以及用于安装所述反射镜且可对所述反射镜的位置进行调节的反射镜安装座，所述测量臂包括第二准直器和待测样品；所述扫频光源发出的光进入所述环形器的第一接口，再由所述环形器的第二接口输出至所述波分复用器，与所述指示光源输入至所述波分复用器的光复合；所述波分复用器输出的光进入所述光纤耦合器后被分为两束，分别进入所述测量臂和参考臂；所述参考臂的返回光和测量臂的返回光再进入所述光纤耦合器发生干涉后再分成两束，一束进入所述平衡探测器，另一束经过所述波分复用器后进入所述环形器的第二接口，再由所述环形器的第三接口输出至所述平衡探测器；所述平衡探测器的输出信号传输至所述计算机；所述扫频光源设置在所述箱体的底板上，所述箱体的底板上还设置有支架，所述光纤干涉探测盒和参考臂均设置在所述支架上；所述反射镜安装座包括底座、可转动设置在所述底座上的反射镜筒座以及可转动设置在所述反射镜筒座内的反射镜筒，所述反射镜设置在所述反射镜筒内；所述反射镜筒座可带动所述反射镜相对所述底座绕Z轴转动，所述反射镜筒可带动所述反射镜相对所述反射镜筒座绕Y轴转动。
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权利要求：
百度查询： 中国科学院苏州生物医学工程技术研究所 小型简易光学间距非接触低相干测量装置
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