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申请/专利权人：江苏峰博装备技术有限公司

摘要：本申请涉及图像处理技术领域，具体涉及一种匀胶显影机中显影液效力快速检测方法，该方法包括：采集各次显影后晶圆表面的晶圆表面图像，获得第一检测三维体素化模型和标准体素化模型；将第一检测三维体素化模型中的所有体素块投影到晶圆表面所在平面，获得各投影体素块；根据各投影体素块在第一检测三维体素化模型中对应体素块的三维坐标，获得各投影体素块的深度信息显著度；根据投影体素块在标准体素化模型中对应的体素块的三维坐标和深度信息显著度，获得晶圆表面沟道深度差；采集各次显影的显影持续时间，结合晶圆表面沟道深度差获得样本数据集；根据样本数据集获得当前显影后的显影液的效力评估结果，提高显影液效力判断的精度。

主权项：1.一种匀胶显影机中显影液效力快速检测方法，其特征在于，该方法包括以下步骤：步骤S10，采集各次显影后晶圆表面的晶圆表面图像，获得检测三维模型；获取标准晶圆表面三维模型，分别对检测三维模型和标准晶圆表面三维模型进行体素化处理，获得第一检测三维体素化模型和标准体素化模型；步骤S20，将第一检测三维体素化模型中的所有体素块投影到晶圆表面所在平面，获得各投影体素块；根据各投影体素块在第一检测三维体素化模型中对应体素块的三维坐标，获得各投影体素块的深度信息显著度；步骤S21，根据第一检测三维体素化模型中体素块的三维坐标，获取投影体素块在各预设方向上的深度特征向量；根据深度特征向量计算深度梯度方向，结合投影体素块在所有预设方向上的深度梯度方向计算非晶圆表面权重；步骤S22，根据所有投影体素块的非晶圆表面权重获得去残留液干扰高度；结合深度梯度方向和去残留液干扰高度获得各投影体素块的边缘特征数对；根据投影体素块与其各预设方向上的投影体素块的边缘特征数对之间的差异获得投影体素块的沟道特征吻合系数；根据沟道特征吻合系数计算各投影体素块的深度信息显著度；步骤S30，根据投影体素块在标准体素化模型中对应的体素块的z轴坐标和深度信息显著度，获得晶圆表面沟道深度差；步骤S40，采集各次显影的显影持续时间，结合晶圆表面沟道深度差获得样本数据集；根据样本数据集获得当前显影后的显影液的效力评估结果；将第一检测三维体素化模型中z轴坐标大于去残留液干扰高度的体素块，记为残留液干扰体素块；将所有残留液干扰体素块的z轴坐标替换为去残留液干扰高度，获得第二检测三维体素化模型；将各投影体素块对应的第二检测三维体素化模型中各体素块的z轴坐标记为各投影体素块的去噪高度；所述根据沟道特征吻合系数计算各投影体素块的深度信息显著度，包括：计算去残留液干扰高度与各投影体素块的去噪高度的差值，记为第三差值；将第三差值与各投影体素块的沟道特征吻合系数的乘积作为各投影体素块的深度信息显著度。

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