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一种高功率半导体器件的参数特性检测方法 

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申请/专利权人:深圳市申拓科技有限公司

摘要:本申请是一种高功率半导体器件的参数特性检测方法,具体是将开关特性测试电路、电流反向恢复测试电路、可靠性测试电路通过功率继电器整合在同一测试电路中的多参数动态监测方法。为了解决现有技术中不同参数测试分别采用独立的半导体测试装置造成设备成本高、测试效率降低、人力成本高的技术问题,本申请通过采用多个功率继电器协同将开关特性测试电路、电流反向恢复测试电路、可靠性测试电路整合在同一测试电路中,以此达到降低成本、提高测试效率的技术效果。

主权项:1.一种高功率半导体器件的参数特性检测方法,包括高功率半导体器件的参数特性检测系统,其特征在于:所述系统包括开关特性测试电路、电流反向恢复测试电路、可靠性测试电路;所述开关特性测试电路、所述电流反向恢复测试电路、所述可靠性测试电路通过功率继电器整合在同一测试电路中;所述开关特性测试采用双脉冲测试方法;所述电流反向恢复测试通过测试源极和漏极之间的PN结等效寄生体二极管实现;所述可靠性测试为负载短路测试;所述功率继电器包括功率继电器一10、功率继电器二11和功率继电器三12。

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权利要求:

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