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申请/专利权人：上海微电子装备(集团)股份有限公司
摘要：本发明提供一种基于瞳面调制的垂向测量方法、调焦调平系统及曝光装置，调焦调平系统在投影组件中增加第一瞳面调制元件，并在第一探测组件中增加与第一瞳面调制元件互补的第二瞳面调制元件，第二瞳面调制元件通过瞳面的能量分布调制和光学相位调制实现对被测物表面图案的滤波效果。其中，第一瞳面调制元件和第二瞳面调制元件通过瞳面的光学相位调制增大波像差，降低被测物表面图案的对比度，削弱被测物表面图案对能量分布的影响；并且，第一瞳面调制元件和第二瞳面调制元件通过能量分布调制减小反射率导致的测量光束能量分布不均，进而降低垂向测量误差，提升了垂向测量精度，同时保证投影组件到第一探测组件的较佳的成像传递效果。
主权项：1.一种调焦调平系统，其特征在于，包括照明组件、投影组件、第一探测组件、中继组件和第二探测组件；所述投影组件中设置有第一瞳面调制元件，所述第一探测组件中设置有与所述第一瞳面调制元件互补的第二瞳面调制元件；所述照明组件用于提供测量光束；所述第一瞳面调制元件用于将所述测量光束调制成带有像差的非理想波面的测量光束，所述带有像差的非理想波面的测量光束照射至被测物表面并被反射；所述第二瞳面调制元件用于将所述被测物表面反射的测量光束恢复成具有理想平面波且滤除所述被测物表面的图案信息的测量光束；所述第二探测组件用于接收经过所述中继组件后的所述理想平面波且滤除所述被测物表面的图案信息的测量光束，以获得所述被测物表面的垂向高度信号。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 上海微电子装备(集团)股份有限公司 基于瞳面调制的垂向测量方法、调焦调平系统及曝光装置
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