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申请/专利权人：杭州电子科技大学
摘要：本发明属于微波电真空技术领域，具体涉及基于片上共面波导的慢波传输线结构。基于片上共面波导的慢波传输线结构，包括硅衬底、设于硅衬底上方的若干层支撑介质、设于支撑介质中的屏蔽金属层和信号线金属层；所述屏蔽金属层和信号线金属层均分别被包裹在两层支撑介质之间；所述屏蔽金属层浮动放置，且不与信号线金属层相连接；所述信号线金属层包括三条金属线，左右两侧金属线均为地线，与位于中间的信号线构成完整电流返回路径。本发明具有能够实现高介电常数、高相位常数和明显小型化的特点。
主权项：1.基于片上共面波导的慢波传输线结构，其特征在于，包括硅衬底、设于硅衬底上方的若干层支撑介质、设于支撑介质中的屏蔽金属层和信号线金属层；所述屏蔽金属层和信号线金属层均分别被包裹在两层支撑介质之间；所述屏蔽金属层浮动放置，且不与信号线金属层相连接；所述信号线金属层包括三条金属线，左右两侧金属线均为地线，与位于中间的信号线构成完整电流返回路径。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 杭州电子科技大学 基于片上共面波导的慢波传输线结构
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