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一种用于真空下的干涉仪标准镜 

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申请/专利权人:长春盈捷光电科技有限公司

摘要:本实用新型涉及一种用于真空下的干涉仪标准镜,包括镜筒,设置在镜头内的第一镜框、第二镜框,设置在第一镜框内的第一透镜、第二透镜、第三透镜,设置在第二镜框内的第四透镜,设置在第一镜框与第二镜框之间的第一隔圈,用于将所有光学透镜固定在镜筒内的第二隔圈;第三隔圈设置在第一镜框内且压装在第二透镜上,第一透镜设置在镜筒与第三隔圈之间;该标准镜通过在第三隔圈与第一透镜的接触面、第一卡环与第二透镜和第三透镜的接触面、第二卡环与第四透镜的接触面上设八个通气孔,既可以保证空气的抽取速度,实现在真空环境下测量,同时保证空气被抽取时各个面的受力均匀,防止因受力不均导致的元件或透镜的变形,从而提高了在真空下的测量精度。

主权项:1.一种用于真空下的干涉仪标准镜,其特征在于,包括镜筒,设置在镜头内的第一镜框、第二镜框,设置在第一镜框内的第一透镜、第二透镜、第三透镜,设置在第二镜框内的第四透镜,设置在第一镜框与第二镜框之间的第一隔圈,设置在第二镜框外侧用于将所有光学透镜固定在镜筒内的第二隔圈;其中,所述第一镜框的内侧壁在靠近第二镜框的一侧设有第一卡环,所述第一卡环的顶面为与第二透镜的尺寸匹配的环形面,第一卡环的底面为与第三透镜的尺寸匹配的环形面,所述第二透镜安装在第一卡环的顶面,第三透镜的顶面安装在第一卡环的底面,第三隔圈设置在第一镜框内且压装在第二透镜上,所述第一透镜设置在镜筒与第三隔圈之间;第一镜框的外侧壁在与第一透镜的侧壁相对的位置间隔设置至少4个第一注胶孔,在与第二透镜的侧壁相对的位置间隔设置至少4个第二注胶孔,在与第三透镜的侧壁相对的位置间隔设置至少4个第三注胶孔;所述第二镜框的内侧壁在靠近第一镜框的一侧设有第二卡环,第四透镜设置在第二卡环上,第二镜框的外侧壁在与第四透镜的侧壁相对的位置间隔设置至少4个第四注胶孔;所述第一隔圈在靠近第一镜框的一侧设有防护补偿倒角,所述防护补偿倒角用于在装配标准镜时,通过车削或研磨防护补偿倒角的方式来补偿加工或装配的误差;所述第二隔圈的外侧壁设有外螺纹,通过螺纹的方式与镜筒连接;所述第三隔圈与第一透镜的接触面、第一卡环与第二透镜和第三透镜的接触面、第二卡环与第四透镜的接触面上均设有八个通气孔,所述通气孔等间距分布且设置在同一环线上。

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权利要求:

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