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申请/专利权人：杭州欣和智控科技有限公司
摘要：本实用新型公开了一种高纯五氯化钽稳定输送装置，包括供料罐、储料罐、称重传感器、载料气气源和汽化器，供料罐与抽真空装置相连，储料罐与供料罐用输料管相连，出料控制机构包括出料管腔、螺杆输料组件，出料管腔设有出料口、进气口、与供料罐相连通的进料口，螺杆输料组件用于将自供料罐流向进料口的五氯化钽输送至出料口，称重传感器用于计量五氯化钽的输出量，载料气气源用管道与所述进气口相连以用于输送反应气体，管道设有质量流量控制器，汽化器用载料管与出料口、CVD生产设备相连，汽化器用于加热载料管使得管内五氯化钽保持气态。该装置输送过程中物料流量可精准调控，设备内部无积料、堵塞现象，有利于CVD反应更均匀。
主权项：1.一种高纯五氯化钽稳定输送装置，其特征在于，包括:供料罐，所述供料罐与抽真空装置相连；储料罐，所述储料罐用于存储五氯化钽，储料罐与供料罐用输料管相连；出料控制机构，所述出料控制机构包括出料管腔、螺杆输料组件，出料管腔设有出料口、进气口、与供料罐相连通的进料口，所述螺杆输料组件包括驱动单元，与驱动单元相连的螺杆，螺杆位于出料管腔内并用于将自供料罐流向进料口的五氯化钽输送至出料口；称重传感器，所述称重传感器位于出料控制机构的下方，用于计量五氯化钽的输出量；载料气气源，所述载料气气源用管道与所述进气口相连以用于输送反应气体，管道设有质量流量控制器；汽化器，所述汽化器用载料管与出料口、CVD生产设备相连，载料管和汽化器安装有加热器，汽化器用于加热载料管使得管内五氯化钽保持气态。
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权利要求：
百度查询： 杭州欣和智控科技有限公司 一种高纯五氯化钽稳定输送装置
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