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申请/专利权人：嘉兴弘毅电子科技有限公司
摘要：本实用新型提出一种用于晶圆取放的磁吸式双臂机械手，其包括承载装配机构、升降支托机构、取片偏转机构、回片偏转机构、取片吸定机构及回片吸定机构，该磁吸式双臂机械手的取片臂板通过磁吸静片及磁吸动片装配于取片偏转机构上，回片臂板通过固定磁片及活动磁片装配于回片偏转机构上，由于取片臂板及回片臂板均采用磁吸结构进行固定，当其在工作中发生碰撞时，会从取片偏转机构或回片偏转机构上脱落或偏移，碰撞过程中产生的碰撞力在脱落或偏移过程中被吸收抵消，对取片偏转机构及回片偏转机构的影响极小，不会造成原点改变，无需对整个机械手进行重新调试，可保障机械手在晶圆检测过程中的运行持续性，提高检测精度和效率。
主权项：1.一种用于晶圆取放的磁吸式双臂机械手，包括：承载装配机构，该承载装配机构中具有安装空间；升降支托机构，该升降支托机构通过活动连接结构安装于承载装配机构中，可在承载装配机构中进行升降动作；取片偏转机构，该取片偏转机构通过活动连接结构安装于升降支托机构中，可随升降支托机构一同升降，并可在升降支托机构中偏转，以在储片设备与检测设备之间切换；回片偏转机构，该回片偏转机构通过活动连接结构安装于升降支托机构中，可随升降支托机构一同升降，并可在升降支托机构中偏转，以在检测设备与储片设备之间切换；其特征在于，还包括：取片吸定机构，该取片吸定机构通过磁吸结构安装于取片偏转机构中，可随取片偏转机构一同偏转，并在储片设备中吸取晶圆，将其送入检测设备；回片吸定机构，该回片吸定机构通过磁吸结构安装于回片偏转机构中，可随回片偏转机构一同偏转，并在检测设备中吸取晶圆，将其回送至储片设备。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 嘉兴弘毅电子科技有限公司 一种用于晶圆取放的磁吸式双臂机械手
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