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一种热丝CVD金刚石涂层设备 

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申请/专利权人:东莞市三体精密工具有限公司

摘要:本实用新型涉及金刚石涂层技术领域,尤其为一种热丝CVD金刚石涂层设备,包括涂层箱,所述涂层箱的内部设置有涂层机构,所述涂层箱顶部中心处的右侧固定连接有微型气泵,所述涂层箱的正面安装有控制器,所述涂层箱的正面且在控制器的下方固定连接有电源插头;所述涂层机构包括滑动连接在涂层箱底部中心处的放置台,所述放置台的顶部且在涂层箱内固定连接有电动推杆,所述放置台的外壁固定连接有密封圈,所述涂层箱的内部且在放置台的两侧均固定连接有反射板,所述反射板的顶部中心处固定连接有固定套筒,利用该装置中的涂层机构来生成金刚石涂层,解决了现有的金刚石涂层设备在运行时,其内部加热效率较低,影响生产效率的问题。

主权项:1.一种热丝CVD金刚石涂层设备,包括涂层箱1,其特征在于:所述涂层箱1的内部设置有涂层机构2,所述涂层箱1顶部中心处的右侧固定连接有微型气泵3,所述涂层箱1的正面安装有控制器4,所述涂层箱1的正面且在控制器4的下方固定连接有电源插头5;所述涂层机构2包括滑动连接在涂层箱1底部中心处的放置台201,所述放置台201的顶部且在涂层箱1内固定连接有电动推杆202,所述放置台201的外壁固定连接有密封圈203,所述涂层箱1的内部且在放置台201的两侧均固定连接有反射板204,所述反射板204的顶部中心处固定连接有固定套筒205,所述固定套筒205内部中心处的左侧固定连接有进料管206,所述固定套筒205的内部且在进料管206的右侧固定连接有排气管207,所述排气管207和进料管206的内部且在固定套筒205外均固定连接有电磁阀208,所述涂层箱1内壁的底部且在靠近放置台201位置处固定连接有红外加热管209,所述反射板204的外壁且在远离放置台201位置处固定连接有隔热板210。

全文数据:

权利要求:

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