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申请/专利权人：浙江浩鑫半导体材料有限公司
摘要：本实用新型涉及石英舟定位技术领域，特别公开了一种石英舟定位装置，滑动架和滑块可以通过滑动调节吸盘的吸附位置，滑动滑动升降架使滑动升降架上的吸盘与石英舟本体贴合，气泵启动，将吸盘内部的空气沿气管、气嘴抽出，即可将石英舟本体固定在托板上，同时，由于压强的作用会带动气管在滑块的内侧壁滑动对弹簧进行压缩，当需要取下石英舟本体时，通过气泵向吸盘内部注入空气，增加吸盘内的压强，弹簧受到的压力减小，即可在复位时拉开吸盘，通过滑动滑动架、滑块和抽出、注入吸盘的内部的空气，完成对石英舟本体的固定、解锁，达到了能够针对不同尺寸的石英舟本体都能够快速固定、解锁，提高加工效率的效果。
主权项：1.一种石英舟定位装置，包括定位座（1），其特征在于，所述定位座（1）的顶端滑动安装有托板（2），所述托板（2）的侧端固定安装有固定升降架（3），位于固定升降架（3）的相背离面所述托板（2）的侧端滑动安装有滑动升降架（4）；其中，托板（2）的顶端开设有T形槽，固定升降架（3）、滑动升降架（4）的侧端开设有T形槽。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 浙江浩鑫半导体材料有限公司 一种石英舟定位装置
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