龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：浙江浩鑫半导体材料有限公司
摘要：本实用新型涉及硅片清洗技术领域，特别公开了一种高效的硅片清洗用石英槽，包括石英槽本体，第一转动杆下端部固定连接有第一斜齿轮，第一转动杆外表面固定连接有连接块，连接块内部套接有一组第二转动杆，一组第二转动杆相对的一端均固定连接有第二斜齿轮，一组第二转动杆内部均套接有搅拌叶，当化学试剂产生沉淀堆积时，启动电机，电机通过第一转动杆旋转带动搅拌杆进行混合，并在旋转混合的同时，通过第一转动杆下端连接的第一斜齿轮啮合第二斜齿轮旋转，第二斜齿轮通过第二转动杆旋转带动搅拌叶，将底部沉淀的化学试剂旋转向上扬起进行混合，使清洗槽内化学试剂浓度均匀一致，使清洗更为高效，提高了清洗质量。
主权项：1.一种高效的硅片清洗用石英槽，包括石英槽本体（11），所述石英槽本体（11）内部开设有清洗槽（12），所述石英槽本体（11）内部接近清洗槽（12）的一侧套接有进水阀（13），其特征在于，所述进水阀（13）内部套接有过滤片（14），所述石英槽本体（11）内部远离进水阀（13）的一侧套接有出水阀（15），所述清洗槽（12）内部卡接有挡板（16），所述挡板（16）内部开设有矩形槽（17），所述清洗槽（12）和矩形槽（17）相连通；其中，所述挡板（16）上端部固定连接有旋转机构；所述旋转机构包括电机（18），所述电机（18）固定连接在挡板（16）上端部。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 浙江浩鑫半导体材料有限公司 一种高效的硅片清洗用石英槽
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号