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申请/专利权人：山西潞安太阳能科技有限责任公司
摘要：本实用新型涉及太阳能硅片镀膜领域。一种炉管内气体供应管路，包括炉内气体主管路1、中段分支管路2、后段分支管路3，所述炉内气体主管路1从炉管5的炉口51的顶部边缘进入，处于炉管5中的炉内气体主管路1沿平行于炉管5的方向延伸到炉管5的炉尾52处，所述中段分支管路2为圆弧型的管路，中段分支管路2处于炉管5的中央，所述后段分支管路3为圆弧型的管路，所述后段分支管路3处于炉管5的炉尾52处内侧，所述后段分支管路3平行于炉管5的炉口51且其顶点B处与炉内气体主管路1固定连接，所述后段分支管路3与炉内气体主管路1联通，所述后段分支管路3上有多个配气孔。
主权项：1.一种炉管内气体供应管路，其特征在于：包括炉内气体主管路（1）、中段分支管路（2）、后段分支管路（3），所述炉内气体主管路（1）从炉管（5）的炉口（51）的顶部边缘进入，处于炉管（5）中的炉内气体主管路（1）沿平行于炉管（5）的方向延伸到炉管（5）的炉尾（52）处，所述中段分支管路（2）为圆弧型的管路，中段分支管路（2）处于炉管（5）的中央，中段分支管路（2）平行于炉管（5）的炉口（51）且其顶点A处与炉内气体主管路（1）固定连接，所述中段分支管路（2）与炉内气体主管路（1）联通，所述中段分支管路（2）上有多个配气孔，所述后段分支管路（3）为圆弧型的管路，所述后段分支管路（3）处于炉管（5）的炉尾（52）处内侧，所述后段分支管路（3）平行于炉管（5）的炉口（51）且其顶点B处与炉内气体主管路（1）固定连接，所述后段分支管路（3）与炉内气体主管路（1）联通，所述后段分支管路（3）上有多个配气孔。
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