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一种复合信号采集装置及光学膜厚控制系统 

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申请/专利权人:成都兴南真科科技有限责任公司

摘要:本申请提供一种复合信号采集装置及光学膜厚控制系统,采集装置包括:容置壳体,其内设有依次连接的光电转换器、电流放大器、AD转换器、中央处理器,容置壳体上设有旋转编码器接口和通讯接口,旋转编码器接口和通讯接口和均与中央处理器连接,旋转编码器接口用于将位置信号输入中央处理器,通讯接口用于输出经过中央处理器绑定的光量和位置绑定复合信号。光学膜厚控制系统包括上述的一种复合信号采集装置。复合信号采集装置一体化的设计能够有效减小微小的电流信号在传送、放大和转换过程中引入的外部干扰,提高光学膜厚控制系统在控制镀膜厚度时的精度。

主权项:1.一种复合信号采集装置,其特征在于,包括:容置壳体,其内设有依次连接的光电转换器、电流放大器、AD转换器、中央处理器,容置壳体上还设有旋转编码器接口和通讯接口,旋转编码器接口和通讯接口和均与中央处理器连接,旋转编码器接口用于将位置信号输入中央处理器,通讯接口用于输出经过中央处理器绑定的光量和位置绑定复合信号。

全文数据:

权利要求:

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