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申请/专利权人：浙江晶盛机电股份有限公司;浙江求是创芯半导体设备有限公司
摘要：本申请公开了一种定心工装，该定心工装用于将反应腔的隔热环安装至加热器，该定心工装包括本体、第一凸起和第二凸起：本体设置为环形结构，第一凸起连接至本体上，第一凸起与本体配合形成能够抵接至加热器的第一台阶，第二凸起连接至第一凸起，第二凸起与第一凸起配合形成能够对隔热环形成限位的第二台阶。通过在定心工装上设置了与加热器相互配合的第一凸起及与隔热环相互配合的第二凸起，能够解决隔热环安装过程中安装难度大的问题，提升隔热环安装后的位置准确性，保证隔热环的安装精度，进而提升隔热环及整个热式薄膜原子层沉积设备中的隔热效果。
主权项：1.一种用于安装隔热环的定心工装，用于将反应腔的隔热环安装至加热器，其特征在于，包括：本体，所述本体设置为环形结构；第一凸起，所述第一凸起连接至所述本体上，所述第一凸起与所述本体配合形成能够抵接至所述加热器的第一台阶；第二凸起，所述第二凸起连接至所述第一凸起，所述第二凸起与所述第一凸起配合形成能够对所述隔热环形成限位的第二台阶。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 浙江晶盛机电股份有限公司 浙江求是创芯半导体设备有限公司 一种用于安装隔热环的定心工装
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