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申请/专利权人：北京中科汉天下电子技术有限公司
摘要：本实用新型涉及一种射频探针及晶圆测试设备，包括：主体部；测试部，与所述主体部相连接；所述主体部上设置有第一连接部，所述测试部上设置有与所述第一连接部相配合的第二连接部，所述第一连接部适于相对所述第二连接部进行移动，由于第一连接部能够相对第二连接部进行移动，当测试部对厚的测试区域进行测试时，通过第二连接部相对第一连接部进行移动，使得测试部能够相对主体部的顶部进行移动，此时射频探针的整体长度将发生缩短。同时测试部还能在自身重力作用下作用在晶圆的待测试区域上并完成测试。通过上述的设置方式，使得测试部上的针尖可以根据晶圆表面的高度变化来调整自身的升降，从而有效避免针尖受到挤压并发生磨损的情况发生。
主权项：1.一种射频探针，包括：主体部1；测试部2，与所述主体部1相连接；其特征在于，所述主体部1上设置有第一连接部101，所述测试部2上设置有与所述第一连接部101相配合的第二连接部201，所述第二连接部201能相对所述第一连接部101进行移动，以调整所述测试部2相对所述主体部1的位置。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 北京中科汉天下电子技术有限公司 一种射频探针及晶圆测试设备
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