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申请/专利权人：上海至纯洁净系统科技股份有限公司;至微半导体(上海)有限公司
摘要：本实用新型公开了一种排风水洗结构及清洗装置，包括：排风腔体，排风腔体连接外部抽气装置，包括底板及侧板，侧板包括平行设置的靴形侧板，及垂直于靴形侧板设置的直侧板和折侧板，靴形侧板、直侧板及折侧板均垂直连接于底板并构成一靴状的排风腔体；其中，折侧板包括自下而上设置的第一侧板、第二侧板及第三侧板，第一侧板和第三侧板平行于直侧板设置，第二侧板呈斜坡面，且第二侧板和第三侧板的连接处设置有第一挡板；直侧板的底部设置有进气口；底板上自折侧板至直侧板依此设置有栅板、第二挡板及出水口；本实用新型能够防止液化的酸气不会从栅板处回流，从而保证机台不会被污染。
主权项：1.一种排风水洗结构，其特征在于，包括：排风腔体，所述排风腔体连接外部抽气装置，包括底板及侧板，所述侧板包括平行设置的靴形侧板，及垂直于所述靴形侧板设置的直侧板和折侧板，所述靴形侧板、所述直侧板及所述折侧板均垂直连接于所述底板并构成一靴状的排风腔体；其中，所述折侧板包括自下而上设置的第一侧板、第二侧板及第三侧板，所述第一侧板和所述第三侧板平行于所述直侧板设置，所述第二侧板呈斜坡面，且所述第二侧板和所述第三侧板的连接处设置有第一挡板；所述直侧板的底部设置有进气口；所述底板上自所述折侧板至所述直侧板依此设置有栅板、第二挡板及出水口；所述第一挡板和所述第二挡板设置角度相互配合，在所述排风腔体中形成开放的隔间，以防止所述进气口和所述栅板进入的酸气回流，及保证液化的酸气自所述出水口流出，避免结晶。
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权利要求：
百度查询： 上海至纯洁净系统科技股份有限公司 至微半导体(上海)有限公司 一种排风水洗结构及清洗装置
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