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申请/专利权人:苏试宜特(深圳)检测技术有限公司
摘要:本发明涉及一种离子束机台的针筒定位装置,包括:转动安装于腔壳内的样品台的定位盘,定位盘间隔固设有若干定位板,定位板上开设有与喷针相匹配的定位孔,且若干定位孔的标高均不同;安装于腔壳的外侧壁的第一支架,第一支架开设有第一弧形槽;以及位置可调地安装于第一支架且与第一支架相对设置的第二支架,第二支架开设有第二弧形槽,且第二弧形槽与第一弧形槽围合形成供柱体通过的连通空间,通过向靠近第一支架的方向调节第二支架,使得第一支架和第二支架夹住柱体。本发明有效的解决了更换耗材后针筒安装费时费力的问题,通过利用针筒定位装置定位针筒,以减少安装针筒的时间,大大节约人力成本和时间成本,且该装置操作简单,易于实现。
主权项:1.一种离子束机台的针筒定位装置,针筒包括伸入腔壳内的喷针以及连接于所述喷针且位于所述腔壳外的柱体,其特征在于,所述针筒定位装置包括:转动安装于所述腔壳内的样品台的定位盘,所述定位盘间隔固设有若干定位板,所述定位板上开设有与所述喷针相匹配的定位孔,且若干所述定位孔的标高均不同;安装于所述腔壳的外侧壁的第一支架,所述第一支架开设有第一弧形槽;以及位置可调地安装于所述第一支架且与所述第一支架相对设置的第二支架,所述第二支架开设有第二弧形槽,且所述第二弧形槽与所述第一弧形槽围合形成供所述柱体通过的连通空间,通过向靠近所述第一支架的方向调节所述第二支架,使得所述第一支架和所述第二支架夹住所述柱体;还包括一端固定于所述第一支架且另一端延伸至所述第二支架的连接板、开设于所述连接板靠近所述第二支架的位置且沿所述连接板的长度方向延伸的条形孔以及穿过所述条形孔且螺合于所述第二支架的螺栓;通过所述螺栓沿所述条形孔移动,使得所述第二支架靠近所述第一支架,从而所述第二支架与所述第一支架夹住所述柱体;还包括划刻于所述条形孔的边沿的刻度尺;所述连接板设置有两个且分别位于所述第一支架和所述第二支架的相对的两侧。
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