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申请/专利权人:青岛高测科技股份有限公司
摘要:本申请实施例提供一种硅棒切割方法、设备及系统,方法包括:以平行于硅棒长度方向的四个第一切面对硅棒进行切割,得到具有两个平面及两个弧面的中间棒、两个第一类边皮料、以及两个第二类边皮料;以平行于硅棒长度方向的四个第二切面对中间棒进行切割,第二切面与第一切面垂直,得到横截面为矩形的方棒、两个第一类边皮料和两个第二类边皮料;以平行于方棒长度方向的第三切面对方棒进行切割,第三切面平行于第一切面或第二切面,得到至少两个小硅棒。本申请实施例提供一种硅棒切割方法、设备及系统能够解决传统方案中由大片结构切割小片结构所具有的缺陷。
主权项:1.一种硅棒切割方法,其特征在于,包括:以平行于硅棒长度方向的四个第一切面对硅棒进行切割,四个第一切面相互平行且分为两组,每一组包含两个第一切面;两组第一切面分别设置在硅棒中心线的两侧,得到具有两个平面及两个弧面的中间棒、具有两个平面及相接在两个平面之间的弧面的两个第一类边皮料、以及具有一平面及与该平面相接的弧面的两个第二类边皮料;采用上下布置的四对切割线轮,两个高度相同的切割线轮为一对,绕设于一对切割线轮上的环形切割线形成第一切面;位于上方的两对切割线轮中,较高的两个切割线轮之间的距离大于较低的两个切割线轮之间的距离,且较高的两个切割线轮与较低的切割线轮在竖向方向相互错开;位于下方两对切割线轮中,较高的两个切割线轮之间的距离小于较低的两个切割线轮之间的距离,且较高的两个切割线轮与较低的切割线轮在竖向方向相互错开;以平行于硅棒长度方向的四个第二切面对中间棒进行切割,第二切面与第一切面垂直;四个第二切面相互平行且分为两组,每一组包含两个第二切面;两组第二切面分别设置在硅棒中心线的两侧,得到横截面为矩形的方棒、具有两个平面及相接在两个平面之间的弧面的两个第一类边皮料和具有一平面、以及与该平面相接的弧面的两个第二类边皮料;以平行于方棒长度方向的第三切面对方棒进行切割,第三切面平行于第一切面或第二切面;第三切面的数量为至少一个,以得到至少两个小硅棒。
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百度查询: 青岛高测科技股份有限公司 硅棒切割方法、设备及系统
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