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申请/专利权人：浙江大学;玻璃新材料创新中心(安徽)有限公司
摘要：本发明公开了一种太阳能电池用透明电极玻璃离线化学气相沉积镀膜的反应装置，包括依次连接的可独立控温并能对反应气体在反应装置的宽度方向上均匀布气的大通量进气室，可分区控制反应气体界面温度的反应通道，可独立控温并能组织反应废气在反应装置的宽度方向上均匀排布的大通量排气室，以及可产生负压从而将排气室内的反应废气强制抽离的废气回收处理装置。本发明实现了进气室和排气室独立控温，以及进气预热道、反应气道、排气道界面精细、精确控温，可进行超大气量化学气相沉积，大大提高化学气相沉积法玻璃镀膜产品质量和生产效率。
主权项：1.一种太阳能电池用透明电极玻璃离线化学气相沉积镀膜的反应装置，其特征在于，包括依次连接的可独立控温并能对反应气体在所述反应装置的宽度方向上均匀布气的大通量进气室，可分区控制反应气体界面温度的反应通道，可独立控温并能组织反应废气在所述反应装置的宽度方向上均匀排布的大通量排气室，以及可产生负压从而将排气室内的反应废气强制抽离的废气回收处理装置；进气室包括均匀布气不锈钢腔体和外侧加热控温装置；均匀布气不锈钢腔体内交错布置多道用于均匀布气的进气阻流钢板，进气阻流钢板间距阶梯变化，形成流体阻力渐加的S型均压进气通道；反应通道包括一个与进气室相连的钢质竖直进气预热道、两个平行于玻璃带的钢质水平反应气道、两个与排气室相连的钢质竖直排气道以及各气道外侧的加热控温装置；排气室包括均匀控压不锈钢腔体、梯形集气罩以及包围在均匀控压不锈钢腔体和梯形集气罩外侧、可将均匀控压不锈钢腔体和梯形集气罩内反应废气温度控制在露点以上的加热控温装置；均匀控压不锈钢腔体内交错均匀布置多道用于均匀排气的排气阻流钢板，形成气流阻力均匀的S型气流通道。
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权利要求：
百度查询： 浙江大学 玻璃新材料创新中心(安徽)有限公司 太阳能电池用透明电极玻璃离线化学气相沉积镀膜的反应装置
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