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申请/专利权人：住友重机械工业株式会社
摘要：本发明提供一种能够实现载物台装置的高精度化的技术。载物台装置具备：第一移动体；X轴驱动部，其构成为能够沿Y轴方向移动并且驱动第一移动体沿X轴方向移动；第二移动体，其构成为能够沿Y轴方向移动并且引导第一移动体沿X轴方向移动；Y轴驱动部，其驱动X轴驱动部或第二移动体沿Y轴方向移动；以及限制单元，其并不限制X轴驱动部与第二移动体之间的X轴方向上的相对移动，而是在使两者彼此非接触的状态下限制两者之间的Y轴方向上的相对移动。
主权项：1.一种载物台装置，其特征在于，具备：第一移动体；X轴驱动部，其构成为能够沿Y轴方向移动并且驱动所述第一移动体沿X轴方向移动；第二移动体，其构成为能够沿Y轴方向移动并且引导所述第一移动体沿X轴方向移动；Y轴驱动部，其驱动所述X轴驱动部或所述第二移动体沿Y轴方向移动；以及限制单元，其并不限制所述X轴驱动部与所述第二移动体之间的X轴方向上的相对移动，而是在使两者彼此非接触的状态下利用磁力限制两者之间的Y轴方向上的相对移动，所述X轴驱动部位于所述第二移动体的两侧，所述限制单元的一部分设置在所述X轴驱动部上，另一部分设置在所述第二移动体上，并且所述一部分与所述另一部分在Y轴方向上彼此相对，所述限制单元通过磁吸引力使所述X轴驱动部与所述第二移动体在Y轴方向上相互吸引或通过磁排斥力使所述X轴驱动部与所述第二移动体在Y轴方向上彼此排斥来限制所述X轴驱动部与所述第二移动体之间的Y轴方向上的相对移动。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 住友重机械工业株式会社 载物台装置
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