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申请/专利权人：家登精密工业股份有限公司
摘要：本发明提出一种用于容纳基板的容器及控制一容器的进气分流方法，包含：一基座，具有至少一第一支撑面；及一盒盖，具有至少一第二支撑与该基座的第一支撑面啮合，借以界定用于容纳该基板的一容纳空间。该基座的第一支撑面与该盒盖的第二支撑面有一致的倾斜度，且该基座的第一支撑面的一平面度与该盒盖的第二支撑面的一平面度皆小于0.04毫米，以在该第一支撑面与该第二支撑面相接触时于其间形成一密封。
主权项：1.一种用于容纳一基板的容器，其特征在于，该容器包含：一基座，具有一顶部水平面与至少一环绕该顶部水平面的第一支撑面；以及一盒盖，用于环绕该基座的顶部水平面而与该基座的第一支撑面啮合，借以界定用于容纳该基板的一容纳空间，该盒盖具有至少一过滤通道以及至少一环绕该容纳空间的第二支撑面，该第二支撑面用以与该基座的第一支撑面配合，该基座的第一支撑面与该盒盖的第二支撑面相较于该基座的顶部水平面有一致的倾斜度，且该基座的第一支撑面的一平面度与该盒盖的第二支撑面的一平面度皆小于0.04毫米，以在该第一支撑面与该第二支撑面相接触时于其间形成一密封。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 家登精密工业股份有限公司 用于容纳基板的容器及控制一容器的进气分流方法
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