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申请/专利权人：应用材料公司
摘要：本公开内容的实施方式一般涉及压印光刻，且更具体地涉及用于制造无接缝的大面积压印的方法和设备。本文公开的方法一般包括将印模或产品中的特征的固化时间与接缝和周边的固化时间分开。接缝和周边可以首先固化，或者接缝和周边可以最后固化。另外，接缝固化操作可以在主板、印模上或最终产品上进行。
主权项：1.一种压印光刻方法，包括：由粘附至背板上的多个主板压印印模材料，以形成印模，每个主板上具有多个特征，且所述多个主板的每对主板之间具有接缝；将掩模定位在紫外线光源与所述印模材料之间；和将所述印模材料暴露于直接穿过所述掩模的来自所述紫外线光源的紫外线光，以形成所述印模材料的固化部分和未固化部分，其中所述印模材料的所述固化部分对应于接缝和周边的区域，并且将所述印模材料暴露于紫外线光发生在由所述多个主板压印所述印模材料之前。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 应用材料公司 用于制造无接缝的大面积压印的方法和设备
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