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申请/专利权人：浙江微针半导体有限公司
摘要：本发明公开了一种可更换探针模块的探针卡及其使用方法，包括PCB基板、安装座和探针模块，安装座固定在PCB基板上，所述安装座包括调节环、第一限位环和锁紧环；所述调节环位于第一限位环下侧的环形槽内，锁紧环通过第一圆柱销与调节环相连，可带动调节环相对第一限位环转动；所述调节环内圈设有第一滚轮，第一限位环内圈设有第二滚轮；所述探针模块为圆柱形结构，圆柱面上设有倾斜的锁紧槽和竖向贯穿的限位槽；所述探针模块置于安装座内，第一滚轮置于锁紧槽内，第二滚轮置于限位槽内。本发明探针卡上的探针模块设置成可更换结构，探针卡只需要更换探针模块即可对不同规格的晶圆进行测试，大大提高探针卡的通用性，减低检测成本。
主权项：1.一种可更换探针模块的探针卡，包括PCB基板、安装座和探针模块，安装座固定在PCB基板上，其特征在于：所述安装座包括调节环、第一限位环和锁紧环；所述调节环位于第一限位环下侧的环形槽内，锁紧环通过第一圆柱销与调节环相连，可带动调节环相对第一限位环转动；所述调节环内圈设有第一滚轮，第一限位环内圈设有第二滚轮；所述探针模块为圆柱形结构，圆柱面上设有倾斜的锁紧槽和竖向贯穿的限位槽；所述探针模块置于安装座内，第一滚轮置于锁紧槽内，第二滚轮置于限位槽内；所述锁紧环带动调节环转动，使得第一滚轮沿锁紧槽移动；所述安装座还包括环形底座和第二限位环；所述第一限位环、第二限位环相向侧设有环形槽，两者通过第二圆柱销安装在环形底座上，调节环活动置于第一限位环、第二限位环之间的环形槽内。
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