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申请/专利权人：浙江康鹏半导体有限公司

摘要：本申请公开了一种砷化镓多晶合成装置及方法，其通过在控制计算机中引入智能化算法和计算机视觉技术，通过对采集到的石英焊线图像进行局部区域的焊线形态特征的提取和捕捉，并将各个局部区域的焊线形态特征进行全局一致性表达来综合表征石英管的开口密封状态，进而基于此来实现密封质量的智能化检测。

主权项：1.一种砷化镓多晶合成装置，包括：石英管、氮化硼舟、坩埚、电加热合成炉和控制计算机，其特征在于，所述氮化硼舟用于收容原料，所述原料为高纯砷和高纯镓，所述高纯砷和高纯镓的纯度为6N；所述石英管用于封装带有所述原料的氮化硼舟以得到封装好的带料石英管；所述电加热合成炉用于对所述封装好的带料石英管进行加热以得到砷化镓多晶体；其中，所述控制计算机用于控制所述电加热合成炉的加热模式，且所述控制计算机用于确认所述石英管的开口密封质量；其中，所述控制计算机，包括：图像接收模块，用于接收由摄像头采集的石英焊线图像；局部焊线形态特征提取模块，用于对所述石英焊线图像进行局部焊线形态特征提取以得到石英局部焊线形态特征图的序列；特征显著化模块，用于将所述石英局部焊线形态特征图的序列中的各个石英局部焊线形态特征图分别输入门控筛选自适应注意力模块以得到特征显著化石英局部焊线形态特征图的序列；全局一致性表示模块，用于对所述特征显著化石英局部焊线形态特征图的序列进行全局一致性表示以得到石英焊线全局一致性表示向量；质检结果确定模块，用于基于所述石英焊线全局一致性表示向量来确定所述石英管的质检结果；其中，所述局部焊线形态特征提取模块，包括：图像切分单元，用于对所述石英焊线图像进行图像块切分以得到石英局部焊线图像的序列；焊线形态特征提取单元，用于将所述石英局部焊线图像的序列中的各个石英局部焊线图像分别通过基于空洞卷积神经网络模型的焊线形态特征提取器以得到所述石英局部焊线形态特征图的序列；其中，所述全局一致性表示模块，包括：哈希相似度计算单元，用于计算所述特征显著化石英局部焊线形态特征图的序列中任意两个特征显著化石英局部焊线形态特征图之间的哈希相似度以得到由多个哈希相似度组成的所述石英焊线全局一致性表示向量；其中，所述哈希相似度计算单元，包括：哈希编码子单元，用于使用哈希映射函数对所述特征显著化石英局部焊线形态特征图的序列进行处理以得到哈希编码石英局部焊线形态特征向量的序列；余弦相似度计算子单元，用于计算所述哈希编码石英局部焊线形态特征向量的序列中每两个哈希编码石英局部焊线形态特征向量之间的余弦相似度以得到所述石英焊线全局一致性表示向量。

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