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申请/专利权人：北京卫星环境工程研究所
摘要：本申请涉及空间环境技术领域，尤其涉及一种超高真空宽温域材料释放气体检测装置及其使用方法，所述超高真空宽温域材料释放气体检测装置包括释气腔、过渡腔、第一真空泵组、第二真空泵组和标准漏孔，其中，释气腔的外侧设置有温度控制机构；过渡腔通过第一阀与释气腔连通；第一真空泵组使得过渡腔的真空度降低至10‑9Pa；第二真空泵组使得释气腔的真空度降低至10‑5Pa；标准漏孔用于检测待测样品释放气体速率。本申请中，无需重复调整过渡腔的真空度，缩短了样品测试时间，而且样品处于超高真空环境内，提高了检测的灵敏度，此外，温度控制机构位于释气腔外侧，消除了自身释放气体对检测结果的影响，实现了对释气腔的宽温调节。
主权项：1.一种超高真空宽温域材料释放气体检测装置，其特征在于，包括：释气腔，用于容纳待测样品，所述释气腔的外侧设置有用于调整所述释气腔内温度的温度控制机构；过渡腔，所述过渡腔通过第一阀与所述释气腔连通；第一真空泵组，用于去除所述过渡腔内气体，使得所述过渡腔的真空度降低至10-9Pa；以及第二真空泵组，所述第二真空泵组通过第二阀与所述释气腔连通，用于去除所述释气腔内气体，使得所述释气腔的真空度降低至10-5Pa；以及标准漏孔，所述标准漏孔通过第三阀与所述释气腔连通，用于标定所述待测样品释放气体速率。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 北京卫星环境工程研究所 超高真空宽温域材料释放气体检测装置及其使用方法
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