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申请/专利权人：浙江大学
摘要：本发明公开了一种双四棱台结构的碱金属原子气室及其制作方法，属于量子光学、原子钟技术、原子陀螺仪领域。包括P型晶面双面抛光硅片、键合于硅片的上抛光面的上层玻璃片盖板和键合于所述硅片的下抛光面的下层玻璃片盖板；P型晶面双面抛光硅片内刻蚀有工作气室、微通道和辅助气室，工作气室与辅助气室通过微通道进行连通，工作气室为仪器工作时泵浦、探测过程所在气室，辅助气室为碱金属释放剂放置及反应空间，微通道为释放气体通道；与传统气室相比，本发明所述气室形状为双四棱台，采用工艺为刻蚀工艺、阳极键合等工艺，结构简单、工艺成熟度高、重复性好更便于实现大规模制作。
主权项：1.一种双四棱台结构的碱金属原子气室，其特征在于，包括P型晶面双面抛光硅片1、键合于硅片的上抛光面的上层玻璃片盖板2和键合于所述硅片的下抛光面的下层玻璃片盖板3；P型晶面双面抛光硅片1内刻蚀有工作气室4、微通道5和辅助气室6，工作气室4与辅助气室6通过微通道5进行连通，所述工作气室4沿两片玻璃盖板连线方向贯穿所述P型晶面双面抛光硅片1，所述工作气室4由两个完全相同的正四棱台竖向拼接构成，两个正四棱台面积较小的底面相互拼接且完全重合；所述辅助气室7内设置有碱金属释放剂8，所述碱金属释放剂8用于释放碱金属蒸气；所述工作气室4为泵浦和探测过程所发生的气室，辅助气室7为碱金属释放剂8生成碱金属蒸气的反应空间，微通道为传递碱金属蒸气的通道。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 浙江大学 一种双四棱台结构的碱金属原子气室及其制作方法
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