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申请/专利权人：杭州和韵科技有限公司
摘要：本发明公开一种超级化学镀钴工作液，包括钴盐、络合剂、稳定剂、二肟类添加剂、醇类添加剂和去离子水。本发明还公开了其在基材上用作制备钴互连线的应用，包括以下步骤：1活化层工作液的制备；2超级化学镀钴工作液的制备；3基材表面预处理；4活化层的制备；5超级化学镀钴填充；6后处理。本发明制备得到的金属镍活化层具备优异结合力、耐蚀性和稳定的沉积速度，及具有良好的致密度，不仅具备阻挡层的作用，可以阻挡钴互连线的扩散，而且可以充当后续超级化学镀钴的活化层，从而可有效避免使用钯活化工艺；本发明制备得到的钴互连线具备优异的结合力和耐腐蚀性能，及较低的线电阻、优异的抗电迁移性能。
主权项：1.一种超级化学镀钴工作液，其特征在于，所述超级化学镀钴工作液包括钴盐、络合剂、稳定剂、二肟类添加剂、醇类添加剂和去离子水；所述钴盐包括氯化钴、醋酸钴、硫酸钴、氨基磺酸钴中的一种或几种；所述络合剂为羧酸及其盐类中的一种或几种，所述羧酸包括甘氨酸、苹果酸、乳酸、柠檬酸、酒石酸；所述稳定剂包括异硫脲丙磺酸内盐、碘酸钾、钼酸铵、S-羧乙基异硫脲嗡盐中的一种或几种；所述二肟类添加剂包括丁二酮肟、呋喃二肟、1,2-环己二酮二肟、二氯乙二肟中的一种或几种；所述醇类添加剂为多元醇中的一种或几种，所述多元醇包括季戊四醇、新戊二醇、乙二醇、丁二醇；所述钴盐含量为10～150gl，所述络合剂含量为25～55gl，所述稳定剂含量为1～5ppm，所述二肟类添加剂含量为30～75gl，所述醇类添加剂含量为45～80gl，余量为去离子水。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 杭州和韵科技有限公司 一种超级化学镀钴工作液及其应用
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