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申请/专利权人：艾尔格勒斯责任有限公司

摘要：用于检测与空气组成相关的模式的基于金属氧化物MEMS传感器阵列的多气体数字检测盒。通过排气和受控钝化技术，检测盒的敏感元件在72100小时的生产周期内稳定化，而不是目前自然稳定化所需的4‑6个月。通过施加控制电压对敏感元件进行动态扫描和虚拟化的过程来确保检测盒的操作，一旦用本文所述的方法稳定化，该检测盒就能够选择性地检测：总挥发性有机化合物TVOC，其光谱图按主要种类分组醇、醚、酮、有机酸、脂肪烃、芳香烃、胺、醛、烯烃、卤化有机化合物、有机硫化合物、有机氮化合物、一氧化碳CO、二氧化氮NO2、甲醛HCHO、臭氧O3、氧气O2、氨NH3、二氧化硫SO2、硫化氢H2S、氢气H2、氢氟酸HF、氰化氢HCN、盐酸HCL、二氧化氯ClO2、甲硫醇H4S、溴Br2，这得益于通过选择性化学过滤分离和基于主组分分析的模式识别和提取过程从两个不同的测量通道获得的精确测量。

主权项：1.一种用于检测与空气组成相关的模式的基于金属氧化物MEMS传感器阵列的多气体数字检测盒100，其特征在于，所述检测盒包括在聚合物室20内创建的足够大小的至少两个测量室，PCB15插入在聚合物室20下方，PCB15具有多个具有相应金属氧化物敏感元件5的至少四个Mems传感器10-13，特别是位于第一测量室中的至少一个第一传感器10和位于第二测量室中的至少三个附加传感器11-13；其中，在所述聚合物室20的相对侧，在面向第一传感器10的隔室内，有由疏水性PTFE聚四氟乙烯制成的第一膜30和其下游的优选包括六个层的选择性化学过滤器50，化学过滤器50包含浸渍有化学吸收剂的织物，化学吸收剂例如微粉化活性炭、浸渍有碘化钾、氢氧化钾、氢氧化钠的活性炭或混合有分子筛如硅酸铝特别是3A、4A、5A、10x和13x类沸石的活性炭；其中，具有面向所述测量室的适当开口的密封盖60被定位为用于封闭检测盒100的上侧，并且所述两个开口使用定位在顶部的第二疏水PTFE膜40进一步过滤；其中，在进行如下所述的校准和稳定化过程之后，最终如此制备的检测盒100适于检测：总有机挥发性化合物TVOC，其光谱图根据以下主要种类分组醇、醚、酮、有机酸、脂肪烃、芳香烃、胺、醛、烯烃、卤化有机化合物、有机硫化合物、氮有机化合物、一氧化碳CO、二氧化氮NO2、甲醛HCHO、臭氧O3、氧气O2、氨NH3、二氧化硫SO2、硫化氢H2S、氢气H2、氢氟酸HF、氰化氢HCN、盐酸HCL、二氧化氯ClO2、甲硫醇H4S和溴Br2。

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百度查询： 艾尔格勒斯责任有限公司 用于检测与空气组成相关的模式的基于金属氧化物MEMS传感器阵列的多气体数字检测盒和相关的稳定化方法