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申请/专利权人：华为技术有限公司
摘要：一种可调整的多电极准直装置，以及采用该准直装置的带电粒子系统。该带电粒子系统包括：带电粒子源；可调准直透镜，其中，可调准直透镜包括轴向分布的多级电极，其中每级电极均形成供带电粒子束11穿过的电极孔，沿带电粒子束11的前进方向上，多级电极的电极孔的尺寸不小于前一级电极上电极孔的尺寸，多级电极中部分电极被配置为单独供电，以便为带电粒子束11的准直提供不同的电极组合。这样，通过对各个电极单独供电、施加不同的电压，可以有效调整该多电极准直装置的主平面所在位置，调整束斑尺寸的范围；并在汇聚能力不变的情况下，平衡高压需求和像差。
主权项：一种带电粒子束系统，其特征在于，包括：带电粒子源，用于生成带电粒子束；可调准直透镜，用于准直所述带电粒子束，其中，所述可调准直透镜包括轴向分布的多级电极，所述多级电极中每级电极均形成供所述带电粒子束穿过的电极孔，沿所述带电粒子束的前进方向上，所述多级电极的电极孔的尺寸不小于前一极电极上电极孔的尺寸，所述多级电极中部分电极被配置为单独供电，以便为所述带电粒子束的准直提供不同的电极组合。
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权利要求：
百度查询： 华为技术有限公司 一种可调整的多电极准直装置
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