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申请/专利权人：江苏首芯半导体科技有限公司
摘要：本公开实施例涉及半导体制造领域，提供一种反应腔体结构及沉积设备，反应腔体结构包括反应腔本体、进气机构、抽气口、可移动载台、固化机构和控制器。反应腔包括竖直方向上相连通的沉积腔和固化腔，可移动载台在反应腔内可沿竖直方向上下移动，以使晶圆被置于沉积腔内以在晶圆表面沉积膜层，或者使晶圆被置于固化腔内。固化机构位于固化腔内，固化机构用于，在晶圆被置于固化腔内期间为膜层提供固化能量，以将膜层转换为目标材料层。控制器与可移动载台以及固化机构连接，用于控制可移动载台在竖直方向上移动，还用于控制固化机构为膜层提供固化能量。本公开实施例至少可以提高制备目标材料层的效率和可靠性。
主权项：1.一种反应腔体结构，应用于沉积设备，其特征在于，包括：反应腔本体，所述反应腔本体内包括反应腔，所述反应腔包括竖直方向上相连通的沉积腔和固化腔；进气机构，所述进气机构设置于所述反应腔顶部，所述进气机构具有进气孔以及与所述进气孔相连通的进气通道，所述进气通道与所述反应腔相连通，所述进气孔用于连通提供气体的进气管；抽气口，所述抽气口与所述反应腔相连通；可移动载台，所述可移动载台用于承载晶圆，且所述可移动载台在所述反应腔内可沿所述竖直方向上下移动，以使所述晶圆被置于所述沉积腔内以在所述晶圆表面沉积膜层，或者使所述晶圆被置于所述固化腔内；固化机构，所述固化机构位于所述固化腔内，所述固化机构用于，在所述晶圆被置于所述固化腔内期间为所述膜层提供固化能量，以将所述膜层转换为目标材料层；控制器，所述控制器与所述可移动载台以及所述固化机构连接，用于控制所述可移动载台在所述竖直方向上移动，以使所述晶圆被置于所述沉积腔内以在所述晶圆表面沉积膜层，还用于在沉积所述膜层后控制所述可移动载台在所述竖直方向上移动，以使所述晶圆被置于所述固化腔内，且控制所述固化机构为所述膜层提供固化能量。
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