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申请/专利权人：青岛四方思锐智能技术有限公司

摘要：本发明属于半导体技术领域，公开一种离子束流加速管及离子注入机，加速管包括加速、聚焦和抑制组件，加速组件包括加速电极、加速法兰和加速前抑制电极，加速电极和加速前抑制电极分别固定在加速法兰的入口侧和出口侧端面上，加速前抑制电极通过螺纹连接的连接杆与高压输出接头连接，聚焦组件包括聚焦法兰和其入口侧端面上的聚焦电极，抑制组件包括抑制法兰及其出口侧端面上的抑制法兰盖板以及从入口侧向出口侧依次排布的第一地电极、抑制电极、第二地电极和第三地电极，第一地电极固定在抑制法兰的入口侧端面上，其余电极固定在抑制法兰内部，第三地电极和抑制电极分别通过螺纹连接的连接杆与高压输出接头连接。本发明有效提高了刚性和可维护性。

主权项：1.一种离子束流加速管，其特征在于，所述离子束流加速管的入口侧设有第一高压输出接头（40）、出口侧设有第二高压输出接头（24），所述离子束流加速管包括沿离子束流运动方向依次排布的加速组件（1’）、聚焦组件（2’）和抑制组件（3’），所述加速组件（1’）、聚焦组件（2’）和抑制组件（3’）依次密封连接使内部形成真空环境，所述加速组件（1’）包括加速电极（11）、加速法兰（1）和加速前抑制电极（12），所述加速电极（11）固定在所述加速法兰（1）的入口侧端面上，所述加速前抑制电极（12）固定在所述加速法兰（1）的出口侧端面上，所述加速前抑制电极（12）与所述加速法兰（1）绝缘连接，所述加速前抑制电极（12）螺纹连接有第一连接杆（41），所述第一连接杆（41）穿过所述加速电极（11）与所述第一高压输出接头（40）连接，所述聚焦组件（2’）包括聚焦法兰（3）和聚焦电极（15），所述聚焦电极（15）固定在所述聚焦法兰（3）的入口侧，所述聚焦法兰（3）与所述加速法兰（1）绝缘连接，所述抑制组件（3’）包括抑制法兰（5）、抑制法兰盖板（6）以及从入口侧向出口侧依次排布的第一地电极（17）、抑制电极、第二地电极（30）和第三地电极（19），所述第一地电极（17）固定在所述抑制法兰（5）的入口侧端面上，所述抑制电极、所述第二地电极（30）和所述第三地电极（19）固定在所述抑制法兰（5）内部，所述抑制法兰盖板（6）固定在所述抑制法兰（5）的出口侧端面上，所述抑制法兰（5）与所述聚焦法兰（3）绝缘连接，所述抑制电极与所述第一地电极（17）、第二地电极（30）和所述第三地电极（19）之间绝缘隔离，所述第三地电极（19）固定连接有加电板（27），所述加电板（27）螺纹连接有第二连接杆（28），所述第二连接杆（28）的另一端与所述第二高压输出接头（24）固定连接，所述抑制电极包括上抑制电极（25）、下抑制电极（18）、左抑制电极（20）和右抑制电极（16），所述上抑制电极（25）和所述下抑制电极（18）关于束流中心对称，所述左抑制电极（20）和所述右抑制电极（16）关于束流中心对称，所述上抑制电极（25）和所述下抑制电极（18）螺纹连接有第三连接杆（42），所述第三连接杆（42）的另一端与所述第二高压输出接头（24）固定连接，所述左抑制电极（20）和所述右抑制电极（16）螺纹连接有第四连接杆（23），所述第四连接杆（23）的另一端与所述第二高压输出接头（24）固定连接。

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