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申请/专利权人:南通玖方新材料股份有限公司
摘要:本发明公开了一种避免磨损的载板支撑梁,包括承载框支撑梁和耐磨槽体(14),所述承载框支撑梁卡合有多个耐磨槽体(14),所述耐磨槽体(14)的右侧设置有限位凸块(23),所述耐磨槽体(14)的左侧设置有限位凹槽(16),相邻的耐磨槽体(14)通过限位凸块(23)和限位凹槽(16)的扣合进行连接,本发明设置的多个耐磨槽体可完整的将承载框支撑梁底部和侧面保护起来,有效的保护非金属材质的支撑梁,避免与滚轮直接接触时磨损产生的粉末污染硅片,确保了硅片的镀膜质量。
主权项:1.一种避免磨损的载板支撑梁,其特征在于:包括承载框支撑梁和耐磨槽体(14),所述承载框支撑梁卡合有多个耐磨槽体(14),所述耐磨槽体(14)的右侧设置有限位凸块(23),所述耐磨槽体(14)的左侧设置有限位凹槽(16),相邻的耐磨槽体(14)通过限位凸块(23)和限位凹槽(16)的扣合进行连接。
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权利要求:
百度查询: 南通玖方新材料股份有限公司 一种避免磨损的载板支撑梁
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