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申请/专利权人：德州仪器公司
摘要：本发明涉及一种微电子器件100，其包含电阻差分对准监测器RDAM101，所述RDAM包含第一可变宽度电阻器102和第二可变宽度电阻器103，所述第一可变宽度电阻器和所述第二可变宽度电阻器是导体级104的构件。所述电阻器102和103中的每一个包含宽部分105和109以及窄部分107和111。所述RDAM101进一步包含竖直连接器113a、113b、115、116a、116b和118，所述竖直连接器连接到所述第一可变宽度电阻器102的所述宽部分105和所述窄部分107中的每一个并且连接到所述第二可变宽度电阻器103的所述宽部分109和所述窄部分111。所述竖直连接器113a、113b、115、116a、116b和118是竖直连接器级119的构件。测试端子124a、124b、124c和124d耦合到所述竖直连接器113a、113b、115、116a、116b和118。连接到所述第一可变宽度电阻器102的所述竖直连接器113a、113b和115以及连接到所述第二可变宽度电阻器103的所述竖直连接器116a、116b和118被分开达相等的距离，并且彼此反平行地定向。所述RDAM101可以用于估计所述竖直连接器级119的所述构件与所述导体级104的所述构件之间的错位距离。
主权项：1.一种微电子器件，其包括：电阻差分对准监测器RDAM，其包含：第一电阻器，其包含第一宽部分和第一窄部分；第一连接器，其接触所述第一宽部分；第二连接器，其接触所述第一窄部分；第二电阻器，其包含第二宽部分和第二窄部分；第三连接器，其接触所述第二宽部分；以及第四连接器，其接触所述第二窄部分；其中：邻近于所述第一连接器的所述第一宽部分的第一宽度大于邻近于所述第二连接器的所述第一窄部分的第二宽度；所述第一连接器在第一方向上与所述第二连接器分开达第一长度；邻近于所述第三连接器的所述第二宽部分具有所述第一宽度；邻近于所述第四连接器的所述第二窄部分具有所述第二宽度；并且所述第三连接器在反平行于所述第一方向的第二方向上与所述第四连接器分开达所述第一长度。
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