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一种高效简洁送舟结构 

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申请/专利权人:江苏橙伟通能智能科技有限公司

摘要:本发明涉及半导体制造及太阳能光伏电池制造技术领域,且公开了一种高效简洁送舟结构,包括底板,所述底板的顶部固定连接有炉体,所述炉体上设置有石英管,所述底板上设置有送舟机构,所述送舟机构上设置有石英舟托,所述石英舟托上设置有石英舟;所述送舟机构包括:机器人搬运机构、悬臂桨。本发明通过设置的炉体、石英管、送舟机构、石英舟托、石英舟的配合使用,利用机器人搬运机构、悬臂桨将石英舟托和石英舟搬运到石英管和炉体内,在不改变现有前后制程的载具前提下,实现制程匹配兼容,实现设备通用性,结构简洁、维修便捷,有效提升能效利用。

主权项:1.一种高效简洁送舟结构,包括底板(1),其特征在于:所述底板(1)的顶部固定连接有炉体(2),所述炉体(2)上设置有石英管(3),所述底板(1)上设置有送舟机构(4),所述送舟机构(4)上设置有石英舟托(5),所述石英舟托(5)上设置有石英舟(6);所述送舟机构(4)包括:机器人搬运机构(401)、悬臂桨(402),所述机器人搬运机构(401)连接在底板(1)的顶部,所述悬臂桨(402)设置在机器人搬运机构(401)上。

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权利要求:

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